LOCALIZED GAAS ETCHING WITH ACIDIC HYDROGEN-PEROXIDE SOLUTIONS

被引：125

作者：

SHAW, DW

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1981年 / 128卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2127524

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：874 / 880

页数：7

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