GENERALIZED ELLIPSOMETRY FOR SURFACES WITH DIRECTIONAL PREFERENCE - APPLICATION TO DIFFRACTION GRATINGS

被引：64

作者：

AZZAM, RMA

BASHARA, NM

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1364/JOSA.62.001521

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

页码：1521 / &

共 11 条

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