STRUCTURAL CHARACTERIZATION OF NBCN THIN-FILMS

被引:13
作者
SKELTON, EF
WOLF, SA
FRANCAVILLA, TL
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 18卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.570737
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:259 / 261
页数:3
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共 11 条
  • [11] WOLF SA, 1979, IEEE T MAG 0515, P595