TEMPERATURE EFFECTS IN THE PHOTOLYTIC LCVD OF PLATINUM

被引：15

作者：

BRAICHOTTE, D

VANDENBERGH, H

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING | 1989年 / 49卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00616298

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：189 / 197

页数：9

共 19 条

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