学术探索
学术期刊
新闻热点
数据分析
智能评审
立即登录
LATERAL SPREAD OF BORON IONS IMPLANTED IN SILICON
被引:18
作者
:
AKASAKA, Y
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
AKASAKA, Y
KAWAZU, S
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
KAWAZU, S
HORIE, K
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
HORIE, K
机构
:
来源
:
APPLIED PHYSICS LETTERS
|
1972年
/ 21卷
/ 04期
关键词
:
D O I
:
10.1063/1.1654311
中图分类号
:
O59 [应用物理学];
学科分类号
:
摘要
:
引用
收藏
页码:128 / &
相关论文
共 5 条
[1]
AKASAKA Y, UNPUBLISHED
[2]
BOWER RW, 1970, ION IMPLANTATION SEM, P224
[3]
THEORETICAL CONSIDERATIONS ON LATERAL SPREAD OF IMPLANTED IONS
FURUKAWA, S
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
FURUKAWA, S
ISHIWARA, H
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
ISHIWARA, H
MATSUMURA, H
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
MATSUMURA, H
[J].
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1972,
11
(02)
: 134
-
+
[4]
JOHNSON WS, 1970, LSS PROJECTED RANGE
[5]
Lindhard J., 1963, VIDENSK SELSK MAT FY, V33, P1, DOI DOI 10.1002/ADMA.200904153
←
1
→
共 5 条
[1]
AKASAKA Y, UNPUBLISHED
[2]
BOWER RW, 1970, ION IMPLANTATION SEM, P224
[3]
THEORETICAL CONSIDERATIONS ON LATERAL SPREAD OF IMPLANTED IONS
FURUKAWA, S
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
FURUKAWA, S
ISHIWARA, H
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
ISHIWARA, H
MATSUMURA, H
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
MATSUMURA, H
[J].
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1972,
11
(02)
: 134
-
+
[4]
JOHNSON WS, 1970, LSS PROJECTED RANGE
[5]
Lindhard J., 1963, VIDENSK SELSK MAT FY, V33, P1, DOI DOI 10.1002/ADMA.200904153
←
1
→