PHOTO-LUMINESCENCE TOPOGRAPHIC OBSERVATION OF DEFECTS IN SILICON-CRYSTALS

被引：13

作者：

NAKASHIMA, H

SHIRAKI, Y

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1978年 / 33卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1063/1.90439

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：545 / 546

页数：2

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共 12 条

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