PARAMETER CORRELATION AND PRECISION IN MULTIPLE-ANGLE ELLIPSOMETRY

被引：47

作者：

BUABBUD, GH

BASHARA, NM

机构：

来源：

APPLIED OPTICS | 1981年 / 20卷 / 17期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.20.003020

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：3020 / 3026

页数：7

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共 4 条

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