REACTIVE SPUTTERING OF NICKEL, IRON, AND NICKEL FERRITE

被引:8
作者
STIRLING, AJ
WESTWOOD, WD
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(71)90108-8
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:199 / &
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