SOLID-PHASE EPITAXIAL-GROWTH OF SI MESAS FROM AL METALLIZATION

被引：74

作者：

SANKUR, H

MCCALDIN, JO

DEVANEY, J

机构：

[1] CALTECH,PASADENA,CA 91109

[2] JET PROP LAB,PASADENA,CA 91103

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1654558

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：64 / 66

页数：3

共 6 条

AXON, HJ ;

HUMEROTHERY, W .

PROCEEDINGS OF THE ROYAL SOCIETY OF LONDON SERIES A-MATHEMATICAL AND PHYSICAL SCIENCES, 1948, 193 (1032) :1-24

[2]

MARRELLO V, TO BE PUBLISHED

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SANKUR, H .

[4]

MCCALDIN JO, 1972, B AM PHYS SOC, V17, P683

[5] PRECIPITATION OF SI FROM AL METALLIZATION OF INTEGRATED-CIRCUITS [J].

MCCALDIN, JO ;

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YU, AYC ;

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