ULTRA-MICROHARDNESS OF VACUUM-DEPOSITED FILMS .1. ULTRA-MICROHARDNESS TESTER

被引:47
作者
NISHIBORI, M
KINOSITA, K
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(78)90011-1
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:325 / 331
页数:7
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