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ULTRAHIGH-VACUUM PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF ULTRA-THIN LAYERS OF SIO2 ON ZRO2 AND TIO2 BY CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF SI(OET)4
被引:33
作者
:
JIN, T
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
UNIV TEXAS,DEPT CHEM,AUSTIN,TX 78712
UNIV TEXAS,DEPT CHEM,AUSTIN,TX 78712
JIN, T
[
1
]
OKUHARA, T
论文数:
0
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机构:
UNIV TEXAS,DEPT CHEM,AUSTIN,TX 78712
UNIV TEXAS,DEPT CHEM,AUSTIN,TX 78712
OKUHARA, T
[
1
]
WHITE, JM
论文数:
0
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0
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0
机构:
UNIV TEXAS,DEPT CHEM,AUSTIN,TX 78712
UNIV TEXAS,DEPT CHEM,AUSTIN,TX 78712
WHITE, JM
[
1
]
机构
:
[1]
UNIV TEXAS,DEPT CHEM,AUSTIN,TX 78712
来源
:
JOURNAL OF THE CHEMICAL SOCIETY-CHEMICAL COMMUNICATIONS
|
1987年
/ 16期
关键词
:
D O I
:
10.1039/c39870001248
中图分类号
:
O6 [化学];
学科分类号
:
0703 ;
摘要
:
引用
收藏
页码:1248 / 1249
页数:2
相关论文
共 13 条
[11]
Seah M. P., 1979, Surface and Interface Analysis, V1, P2, DOI 10.1002/sia.740010103
[12]
Tanabe K, 1981, CATAL SCI TECHNOL, V2, P231
[13]
1986, CHEM ENG NEWS 0811, P22
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共 13 条
[11]
Seah M. P., 1979, Surface and Interface Analysis, V1, P2, DOI 10.1002/sia.740010103
[12]
Tanabe K, 1981, CATAL SCI TECHNOL, V2, P231
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1986, CHEM ENG NEWS 0811, P22
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