ION-IMPLANTATION - PROBLEMS AND PERSPECTIVES

被引:4
作者
TITOV, VV
机构
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1978年 / 48卷 / 01期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210480103
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:13 / 22
页数:10
相关论文
共 15 条
[1]  
BOGATYREV VA, 1976, FIZ TEKH POLUPROV, V10, P1392
[2]  
KACHURIN GA, 1976, FTP, V10, P1890
[3]  
KACHURIN GA, 1975, FIZ TEKH POLUPROV, V9, P1428
[4]  
KAZKAZ AG, 1973, THESIS U SCI MED GRE
[5]  
KHAIBULLIN IB, 1976, INT C ION IMPLANTATI, P212
[6]  
KLABES R, 1977, 11TH INT C AT COLL S
[7]  
KUTUKOVA OG, 1976, FIZ TEKH POLUPROV, V10, P796
[8]  
KUTUKOVA OG, 1976, FIZ TEKH POLUPROV, V10, P443
[9]  
Mayer J. W., 1970, ION IMPLANTATION SEM
[10]  
Mirkin L.I., 1975, FIZICHESKIE OSNOVY O