ION-IMPLANTATION - PROBLEMS AND PERSPECTIVES

被引：4

作者：

TITOV, VV

机构：

来源：

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1978年 / 48卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1002/pssa.2210480103

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页数：10

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