CONTRIBUTIONS TO THE SURFACE PREPARATION OF SEMICONDUCTOR-MATERIALS OF LOW HARDNESS

被引：8

作者：

ENGEL, A

机构：

来源：

KRISTALL UND TECHNIK-CRYSTAL RESEARCH AND TECHNOLOGY | 1980年 / 15卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1002/crat.19800151225

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：1439 / 1446

页数：8

共 32 条

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