CONTRIBUTIONS TO THE SURFACE PREPARATION OF SEMICONDUCTOR-MATERIALS OF LOW HARDNESS

被引:8
作者
ENGEL, A
机构
来源
KRISTALL UND TECHNIK-CRYSTAL RESEARCH AND TECHNOLOGY | 1980年 / 15卷 / 12期
关键词
D O I
10.1002/crat.19800151225
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
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页码:1439 / 1446
页数:8
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