MULTILAYER METALLIZATION FOR LSI

被引：18

作者：

SANTORO, CJ

TOLLIVER, DL

机构：

来源：

PROCEEDINGS OF THE INSTITUTE OF ELECTRICAL AND ELECTRONICS ENGINEERS | 1971年 / 59卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1109/PROC.1971.8446

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1403 / &

共 13 条

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