STUDIES ON GLOW-DISCHARGE POLYMERIZATION OF TETRAMETHYSILANE .1. SOME PHYSICAL-PROPERTIES OF POLYMERS OBTAINED BY GLOW-DISCHARGE POLYMERIZATION OF TETRAMETHYLSILANE AND HEXAMETHYLDISILAZANE

被引：15

作者：

INAGAKI, N

CHEN, KS

KADONOME, N

KATSUURA, K

机构：

来源：

KOBUNSHI RONBUNSHU | 1981年 / 38卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1295/koron.38.665

中图分类号：

O63 [高分子化学（高聚物）];

学科分类号：

070305 ; 080501 ; 081704 ;

摘要：

引用

收藏

页码：665 / 672

页数：8

相关论文

共 11 条

[11] Yasuda H., 1978, THIN FILM PROCESS