ANALYSIS OF A SPARK-PRE-IONIZED LARGE-VOLUME XEF AND KRF DISCHARGE LASER

被引:20
作者
ROTHE, DE [1 ]
GIBSON, RA [1 ]
机构
[1] NORTHROP CORP,RES & TECHNOL CTR,HAWTHORNE,CA 90250
关键词
D O I
10.1016/S0030-4018(97)90005-5
中图分类号
O43 [光学];
学科分类号
070207 ; 0803 ;
摘要
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页码:265 / 268
页数:4
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