THIN-FILM MACHINING BY LASER-INDUCED EXPLOSION

被引：43

作者：

ZALECKAS, VJ

KOO, JC

机构：

[1] WESTERN ELECT CO INC,ENGN RES CTR,PRINCETON,NJ 08540

[2] INST FIS,CAMPINAS 13100,SP,BRAZIL

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1977年 / 31卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1063/1.89801

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：615 / 617

页数：3

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共 4 条

[1]

CHARSCHAN SS, 1972, LASERS INDUSTRY

[2]

DAMICO JN, TO BE PUBLISHED

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KOO JY, TO BE PUBLISHED

[4] THERMAL-ANALYSIS OF THIN-FILM MICROMACHINING WITH LASERS [J].

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KESTENBAUM, A .

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1973, 44 (05) :2260-2268