DIFFUSION OF ALUMINUM IN SINGLE CRYSTAL SILICON

被引：56

作者：

MILLER, RC

SAVAGE, A

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1722283

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1430 / 1432

页数：3

共 11 条

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