CHARACTERISTICS OF HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON THIN-FILM TRANSISTORS FABRICATED BY DC MAGNETRON SPUTTERING

被引：5

作者：

KOLODZIEJ, A

NOWAK, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(89)90805-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：37 / 42

页数：6

共 8 条

[1]

KOLODZIEJ A, 1988, ACTA PHYS POL A, V73, P495

[2]

KOLODZIEJ A, 1989, ACTA PHYS POL A, V75, P325

[3]

KOLODZIEJ A, 1987, 3RD C P EL TECHN POZ, P262

[4]

KOLODZIEJ A, THIN SOLID FILMS

[5]

LAKATOS AI, 1985, DEC P INT EL DEV M W, P428

MACKENZIE, KD ;

SNELL, AJ ;

FRENCH, I ;

LECOMBER, PG ;

SPEAR, WE .

APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 1983, 31 (02) :87-92

[7]

STREET RA, APPL PHYS LETT, V48, P1986

TANAKA, H ;

SAKAI, T ;

SHIMBO, M ;

ARAI, S ;

YAMAZAKI, T .

APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING, 1986, 41 (04) :311-314