NON-DESTRUCTIVE DIRECT CARBON-REPLICA METHOD FOR EXAMINATION OF SI SURFACES

被引：8

作者：

STICKLER, R

机构：

来源：

JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1964年 / 41卷 / 08期

关键词：

D O I：

10.1088/0950-7671/41/8/121

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

收藏

页码：523 / &

相关论文

共 6 条

[1] USES OF CARBON REPLICAS IN ELECTRON MICROSCOPY
BRADLEY, DE
[J]. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1956, 27 (12) : 1399 - 1412
[2] A COMPARISON OF ETCHING AND FRACTURING TECHNIQUES FOR STUDYING TWIN STRUCTURES IN GE, SI, AND III-V INTERMETALLIC COMPOUNDS
FAUST, JW
JOHN, HF
[J]. JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1960, 107 (06) : 562 - 564
[3] KAY D, 1961, TECHNIQUES ELECTRON
[4] REIMER L, 1959, ELEKTRONENMIKROSKOPI
[5] STICKLER R, IN PRESS
[6] STICKLER R, 1963, RCA SCI INSTR NEWS, V8, P6