HARMONIC ELECTROSTATIC MOTORS

被引：64

作者：

TRIMMER, W

JEBENS, R

机构：

[1] AT&T Bell Lab, United States

来源：

SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 20卷 / 1-2期

关键词：

28;

D O I：

10.1016/0250-6874(89)87097-0

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：17 / 24

页数：8

共 28 条

[1] BART SF, 1989, 1989 IEEE MICR EL ME, P7
[2] BENEKE W, 1989, 1989 IEEE P MICR EL, P116
[3] BROCKETT RW, 1989, 1989 IEEE MICR EL ME, P49
[4] ELWENSPOEK M, 1989, 1989 IEEE MICR EL ME, P126
[5] Feynman RP., 1960, THERES PLENTY ROOM B
[6] THE FABRICATION OF AN ELECTROSTATIC LINEAR-ACTUATOR BY SILICON MICROMACHINING
FUJITA, H
OMODAKA, A
[J]. IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 1988, 35 (06) : 731 - 734
[7] FUJITA H, 1987, 4TH INT C SOL STAT S, P861
[8] FUJITA H, 1987, NOV IEEE MICR ROB TE
[9] JACOBSEN SC, 1989, 1989 IEEE MICR ELECT, P17
[10] JEBENS R, 1989, 1989 IEEE MICR EL ME, P35