LATERAL GROWTH OF SINGLE-CRYSTAL INP OVER DIELECTRIC FILMS BY ORIENTATION-DEPENDENT VPE

被引:25
作者
VOHL, P
BOZLER, CO
MCCLELLAND, RW
CHU, A
STRAUSS, AJ
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(82)90460-2
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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页码:410 / 422
页数:13
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