PREFERENTIAL ELECTROCHEMICAL ETCHING OF P+ SILICON IN AN AQUEOUS HF-H2SO4 ELECTROLYTE

被引：8

作者：

WEN, CP

WELLER, KP

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1972年 / 119卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2404251

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

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页码：547 / +

页数：1

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