DEPOSITION OF TRANSPARENT ZRO2 ON POLYETHERIMIDE USING A KRF EXCIMER LASER

被引：4

作者：

CHUANG, MC ^{[1
]}

SMITH, GA ^{[1
]}

机构：

[1] GE,CTR CORP RES & DEV,SCHENECTADY,NY 12301

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1991年 / 9卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.577284

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

页码：2397 / 2399

页数：3

共 5 条

BENNER, RE ;

NAGELBERG, AS .

[2]

Chuang MC, UNPUB

DOOLITTLE, LR .

SANKUR, H ;

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NELSON, JG .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1987, 5 (05) :2869-2874

[5]

STANDARD POWDER DIFF