DESIGN OF ELECTRON-BEAM SCANNING SYSTEMS USING MOVING OBJECTIVE LENS

被引:21
作者
OHIWA, H
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.569611
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:849 / 852
页数:4
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