PHOTOELECTROCHEMICAL DEPOSITION OF MICROSCOPIC METAL-FILM PATTERNS ON SI AND GAAS

被引:54
作者
MICHEELS, RH
DARROW, AD
RAUH, RD
机构
关键词
D O I
10.1063/1.92758
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页数:3
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