CRYSTAL WEIGHING MECHANISM FOR GROWTH MONITORING OF CZOCHRALSKI GROWN CRYSTALS

被引：12

作者：

REINERT, RC ^{[1
]}

YATSKO, MA ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,ALLENTOWN,PA 18103

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(74)90016-5

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：283 / 286

页数：4

共 8 条

[1] AUTOMATIC-CONTROL OF CZOCHRALSKI CRYSTAL-GROWTH [J].

BARDSLEY, W ;

GREEN, GW ;

HOLLIDAY, CH ;

HURLE, DTJ .

[2]

GILLY FW, 1971, PERSONAL COMMUNICATI

[3] AUTOMATED CRYSTAL PULLER [J].

KYLE, TR ;

ZYDZIK, G .

[4]

LEVINSON J, 1959, Patent No. 2908044

[5]

REINERT RC, 1973, PERSONAL COMMUNICATI

[6]

ZINNES AE, 1972, PERSONAL COMMUNICATI

[7]

ZINNES AE, 1972, AACGII PRINC U

[8]

ZINNES AE, 1973, J CRYST GROWTH, V19, P137