INFLUENCE OF FILM-GROWTH CONDITIONS ON C-AXIS ORIENTATION IN SPUTTERED CO-CR THIN-FILMS

被引：8

作者：

NIIMURA, Y

NAKAGAWA, S

KITAMOTO, Y

NAOE, M

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.337823

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：3152 / 3154

页数：3

共 6 条

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