DEPENDENCE OF THE STRUCTURAL AND ELECTRICAL-PROPERTIES OF ULTRATHIN COBALT SILICIDE FILMS ON FORMATION CONDITIONS

被引：17

作者：

PHILLIPS, JM ^{[1
]}

BATSTONE, JL ^{[1
]}

HENSEL, JC ^{[1
]}

CERULLO, M ^{[1
]}

UNTERWALD, FC ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV LIVERPOOL,DEPT MAT SCI & ENGN,LIVERPOOL L69 3BX,ENGLAND

来源：

关键词：

D O I：

10.1557/JMR.1989.0144

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：144 / 155

页数：12