SUBMICRON EPITAXIAL FILMS FOR GAAS FIELD-EFFECT TRANSISTORS

被引:19
作者
FAIRMAN, RD [1 ]
SOLOMON, R [1 ]
机构
[1] FAIRCHILD RES & DEV LAB,PALO ALTO,CA 94306
关键词
D O I
10.1149/1.2403496
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:541 / 544
页数:4
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