EFFECT OF ARSENIC IN IMPROVING LIFETIME IN SILICON-ON-SAPPHIRE FILMS

被引:11
作者
MCGREIVY, DJ [1 ]
VISWANAT.CR [1 ]
机构
[1] UNIV CALIF,SCH ENGN & APPL SCI,LOS ANGELES,CA 90024
关键词
D O I
10.1063/1.1655567
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:505 / 506
页数:2
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