ETCHING GE WITH MIXTURES OF HF-H2O2-H2O

被引：21

作者：

BLOEM, J

VANVESSEM, JC

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1962年 / 109卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2425321

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

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共 11 条

[11] WANG P, 1958, SYLVANIA TECHNOLOGIS, V9, P50