AN INVESTIGATION OF THE THICKNESS VARIATION OF SPUN-ON THIN-FILMS COMMONLY ASSOCIATED WITH THE SEMICONDUCTOR INDUSTRY

被引：94

作者：

DAUGHTON, WJ ^{[1
]}

GIVENS, FL ^{[1
]}

机构：

[1] TEXAS INSTRUMENTS INC,DALLAS,TX 75265

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1982年 / 129卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2123749

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

收藏

页码：173 / 179

页数：7

相关论文

共 19 条

[11] OHAGAN P, 1977, OCT P KOD MICR SEM R
[12] REINER M, 1949, DEFORMATION FLOW
[13] SCHWARTZ GC, 1965, JUN P KOD SEM MICR K
[14] TAYLOR CJ, 1966, NASA CR597
[15] Walker P.H., 1922, P AM SOC TEST MATER, V22, P464
[16] WASHO BD, 1977, IBM J RES DEV, V21, P90
[17] ZIELINSKI L, COMMUNICATION
[18] 1962, KODAK PHOTOSENSITIVE
[19] [No title captured]