A SILICON ELECTROSTATIC ULTRASONIC TRANSDUCER

被引：78

作者：

SUZUKI, K

HIGUCHI, K

TANIGAWA, H

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/58.39112

中图分类号：

O42 [声学];

学科分类号：

070206 ; 082403 ;

摘要：

引用

页码：620 / 627

页数：8

共 15 条

[1]

ANKE DV, 1974, ACUSTICA, V30, P30

BEJCZY, AK .

[3]

GRANZ B, 1982, ACOUST IMAGING, V12, P307

[4]

HIGUCHI K, 1986, P IEEE ULTR S, P559

[5]

Kleinschmidt P., 1985, P IEEE ULTR S, P457

[6]

KUHL W, 1954, ACUSTICA, V4, P519

[7]

KUKUCHI Y, 1969, ULTRASONIC TRANSDUCE, P209

[8]

NAKATERA K, 1986, IECE JAPAN TECH G EA, V86, P67

[9] PBTIO3 THIN-FILM ULTRASONIC MICRO-SENSOR FABRICATED ON SI WAFER [J].

OHTANI, K ;

OKUYAMA, M ;

HAMAKAWA, Y .

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS, 1984, 23 :133-135

[10]

OLSON HF, 1957, ACOUSTICAL ENG, P205