PBTIO3 THIN-FILM ULTRASONIC MICRO-SENSOR FABRICATED ON SI WAFER

被引：24

作者：

OHTANI, K

OKUYAMA, M

HAMAKAWA, Y

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1984年 / 23卷

关键词：

D O I：

10.7567/JJAPS.23S1.133

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：133 / 135

页数：3

共 6 条

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