REACTIVE ION ETCHING OF EPITAXIAL ZNSE THIN-FILMS

被引:13
作者
CLAUSEN, EM
CRAIGHEAD, HG
SCHIAVONE, LM
TAMARGO, MC
DEMIGUEL, JL
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1988年 / 6卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.584195
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:1889 / 1891
页数:3
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