A LOW-COST SAMPLE INTRODUCTION SYSTEM FOR USE WITH HIGH-VACUUM WORK CHAMBERS

被引：3

作者：

SCHLIER, AR

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571298

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：100 / 101

页数：2

相关论文

共 1 条

[1] DEPTH RESOLUTION DEGRADATION OF SPUTTER-PROFILED INP-INXGA1-XASYP1-Y INTERFACES CAUSED BY CONE FORMATION [J].

WILLIAMS, RS ;

NELSON, RJ ;

SCHLIER, AR .

APPLIED PHYSICS LETTERS, 1980, 36 (10) :827-829