TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPE STUDY OF LATTICE DAMAGE AND POLYMER COATING FORMED AFTER REACTIVE ION ETCHING OF SIO2

被引：23

作者：

CERVA, H

MOHR, EG

OPPOLZER, H

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1987年 / 5卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583954

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：590 / 593

页数：4

共 6 条

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