QUANTITATIVE XPS-ANALYSIS OF TANTALUM-CONTAINING AMORPHOUS-CARBON FILMS

被引：6

作者：

GRISCHKE, M

BRAUER, A

BENNDORF, C

THIEME, F

WILLICH, P

机构：

[1] UNIV HAMBURG,DEPT PHYS CHEM,DIV SURFACE CHEM,BUNDESSTR 45,D-2000 HAMBURG 13,FED REP GER

[2] PHILIPS GMBH,FORSCHUNGSLAB HAMBURG,D-2000 HAMBURG 54,FED REP GER

来源：

FRESENIUS ZEITSCHRIFT FUR ANALYTISCHE CHEMIE | 1989年 / 333卷 / 4-5期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00572308

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：299 / 303

页数：5