OPTICAL MEASUREMENT OF SILICON MEMBRANE AND BEAM THICKNESS USING A REFLECTANCE SPECTROMETER

被引：4

作者：

BERNSTEIN, J

DENISON, M

GREIFF, P

机构：

[1] Charles Stark Draper Lab, Cambridge,, MA, USA, Charles Stark Draper Lab, Cambridge, MA, USA

来源：

关键词：

REFLECTANCE SPECTROMETER - SILICON BEAM THICKNESS - SILICON MEMBRANE THICKNESS;

D O I：

10.1109/16.2535

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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