MONTE CARLO CALCULATIONS OF ELECTRON-SAMPLE INTERACTIONS IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPE

被引：90

作者：

SHIMIZU, R

MURATA, K

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1971年 / 42卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1659606

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：387 / &

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Wilson, RR .

PHYSICAL REVIEW, 1941, 60 (11) :749-753