APPLICATIONS OF MAGNETIC SCANNING TO HIGH-CURRENT IMPLANTATION

被引：6

作者：

HANLEY, PR

EHRLICH, CD

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON NUCLEAR SCIENCE | 1981年 / 28卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1109/TNS.1981.4331512

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

收藏

页码：1747 / 1750

页数：4

相关论文

共 6 条

[1] CHAUMONT J, 1980, 3RD INT C ION IMPL E
[2] ENGE HA, 1868, Patent No. 76011
[3] GAN J, COMMUNICATION
[4] HANLEY PR, 1980, 3RD INT C ION IMPL E
[5] ROTATING SCAN FOR ION-IMPLANTATION
ROBERTSON, GI
[J]. JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1975, 122 (06) : 796 - 800
[6] RYDING G, 1980, 3RD INT C ION IMPL E