EQUILIBRIUM-ANALYSIS OF THE MOCVD GA(CH3)3-ASH3-H2 SYSTEM

被引：4

作者：

CHADWICK, BK ^{[1
]}

机构：

[1] UNITED EPITAXIAL TECHNOL INC,BEAVERTON,OR 97006

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(89)90070-5

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：693 / 702

页数：10

共 21 条

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