共 32 条
- [31] WERNER HW, 1969, DEVELOPMENTS APPLI A, V7, P239
- [32] PRECISION AND SENSITIVITY IN ELECTRON MICROPROBE ANALYSIS[J]. ANALYTICAL CHEMISTRY, 1967, 39 (08) : 858 - &ZIEBOLD, TO
SECONDARY ION EMISSION FOR SURFACE AND IN-DEPTH ANALYSIS OF TANTALUM THIN-FILMS
被引：64
作者：
MORABITO, JM
LEWIS, RK
机构：
[1] BELL TEL LABS INC,ALLENTOWN,PA 18103
[2] CAMECA INSTR,ELMSFORD,NY 10523
关键词：
D O I：
10.1021/ac60328a037
中图分类号：
O65 [分析化学];
学科分类号：
070302 ;
081704 ;
摘要：
引用
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页数：12
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