MICROWAVE PHOTOCONDUCTIVITY SCANNING MICROSCOPE STUDIES OF SILICON SURFACES

被引:9
作者
SCHLICHTHORL, G
BECK, G
LILIE, J
TRIBUTSCH, H
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1140640
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
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页码:2992 / 3003
页数:12
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