DEFLECTION ERRORS DUR TO SAMPLE POTENTIAL IN ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY MACHINE

被引：9

作者：

MIYAZAKI, M

SAITOU, N

MUNAKATA, C

机构：

来源：

JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1981年 / 14卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1088/0022-3735/14/2/013

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：194 / 195

页数：2

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共 3 条

[1]

LANGNER GO, 1979, P MICROCIRCUIT ENG C, P261

MUNAKATA, C ;

KOHNO, H ;

MAEKAWA, A ;

HONDA, Y ;

MIURA, Y .

SAITOU, N ;

MUNAKATA, C ;

MAEKAWA, A .