DIFFUSION OF OXYGEN IN SILICON

被引：28

作者：

LOGAN, RA

PETERS, AJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1722863

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：819 / 820

页数：2

共 6 条

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