PERFORMANCE OF A MICROSCOPIC IMAGING ELLIPSOMETER

被引：81

作者：

BEAGLEHOLE, D

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1139897

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：2557 / 2559

页数：3

相关论文

共 5 条

[1]

BEAGLEHOLD D, IN PRESS J PHYS CHEM

[2]

BEAGLEHOLE D, 1986, FLUID INTERFACIAL PH

[3] SPATIALLY RESOLVED ELLIPSOMETRY [J].

ERMAN, M ;

THEETEN, JB .

[4]

Lekner J., 1987, THEORY REFLECTION EL, P224

[5]

Stiblert L., 1983, Journal de Physique Colloque, V44, P79